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Zemax案例 | 基于Zemax的视向与景深可调的硬性内窥物镜解决方案

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微创外科是现代临床医学核心发展方向,硬性腹腔内窥镜作为术中病灶可视化核心设备,长期存在视向固定、景深狭窄、偏转色差严重三大行业痛点,制约手术效率与诊疗安全性。传统机械可调内窥镜结构复杂、体积偏大,难以适配微创小切口需求;基于电润湿液体棱镜+液体透镜的光流体自适应光学方案,成为新一代可调硬镜主流技术路线。

四川大学团队于《应用光学》2026年第3期刊发《视向与景深可调的硬性内窥物镜设计》一文[1],完整采用Zemax光学仿真软件完成全系统建模、像差优化、视场偏转仿真、景深拓展模拟与多维度像质量化评估,成功研发一款外径满足临床标准、双向±7.2°视向可调、观测景深提升68%的微型医用硬镜物镜系统。本文以该学术成果为案例,深度拆解Zemax在医疗自适应光学内窥镜设计全流程中的核心能力,为光学研发企业、医疗器械研发院所提供标准化仿真设计思路。

传统硬性内窥镜光学设计核心难题

1.1固定视向设计大幅提升临床成本

传统医用硬性内窥镜采用固体固定棱镜离轴光路,单台设备仅支持单一视向角。腹腔手术中需多台不同角度内窥镜轮换使用,设备采购、灭菌、维护成本高昂;术中频繁更换镜体易造成组织误伤,延长手术时长。

现有可调方案多依靠机械蛇骨、镜管旋转实现视场偏转,机械结构占用大量径向空间,镜体外径难以缩小,且机械传动存在磨损、响应滞后、灭菌密封性差等缺陷,无法适配超细微创腔镜发展趋势。

1.2固有小景深导致术中频繁对焦

常规硬性内窥镜原生景深仅12.51mm ~ 21.44mm,手术视野内远近组织无法同步清晰成像,医生需反复进退镜体调整对焦距离,视野频繁切换极易造成血管、神经误判,增加手术风险。传统机械变焦模组镜片数量多、装配公差严苛,微型化集成难度极高。

1.3视场偏转引入严重色差与高阶像差

若通过流体棱镜实现光束偏转,不同波长光线折射率差异会产生显著横向色差;大角度视场偏移同步诱发场曲、像散、梯形畸变,边缘视场成像模糊、色彩分层,单纯依靠光学镜片组合消色差会大幅增加镜头片数与整体体积,与内窥镜小型化需求相悖。

1.4微型化光学系统仿真验证门槛高

自适应光学器件(液体棱镜、液体透镜)属于动态可变光焦度光学元件,光路随电压连续变化,传统手工光学计算无法完成多偏转角度、多焦距状态下全波段像质批量评估;医疗光学对分辨率、畸变、照度、色差指标要求严苛,缺少专业仿真工具将导致原型迭代周期拉长、加工报废率上升。

基于双流体自适应光学的可调硬镜系统架构

针对上述痛点,川大团队提出液体棱镜视向偏转+液体透镜动态调焦+算法色差校正一体化硬性内窥镜光学系统,整套光路全部在Zemax中完成建模、优化与仿真验证。

2.1系统核心硬件组

系统主要由4部分构成:电润湿液体棱镜、硬性内窥物镜、电润湿液体透镜,以及用于色差校正的图像处理模块:

前端电润湿液体棱镜:系统视向调节核心,立方腔体填充两种折射率匹配液体,内置透明隔片,通过电极电压改变液液界面倾角,实现X/Y双向±7.2°光束偏转,通光口径6.2mm,封装后整体尺寸7.2mm×7.2mm×3.2mm。

中部7片固体物镜组完成基础成像、基础单色像差校正,焦距1.48mm,原生视场角70°,最大畸变仅3%,远优于传统硬镜20%畸变水平。

后端电润湿液体透镜:景深拓展核心,光焦度可在-30D~+30D连续调节,替代传统机械变焦结构,实现10mm~25mm全工作距清晰对焦。

图1  硬性内窥镜系统横截面结构示意图及原理。(a)硬性内窥镜系统结构与校正色差的图像融合算法;(b)电润湿液体棱镜结构;(c)电润湿液体棱镜原理;(d)电润湿液体透镜结构;(e)电润湿液体透镜原理

2.2电润湿光学器件理论模型与Zemax适配逻辑

系统所有流体元件工作原理依托Young-Lippmann电润湿方程,电压直接改变液体接触角,进而控制折射面偏折角度与透镜曲率半径。

液体棱镜:电压→液液界面倾斜→光束偏转角β(U),Zemax通过多重结构批量定义5°/10°/15°/20°隔片偏转状态,批量输出不同视向下MTF、点列图、色差、畸变数据。

液体透镜:电压→界面曲率变化→系统焦距f'(U),依托Zemax多重结构设置-30D~+30D光焦度档位,模拟10mm、15.8mm、25mm多工作距离成像效果,量化景深拓展性能。

2.3色差协同校正方案

流体棱镜大角度偏转带来数倍放大的横向色差,光学端仅做基础消色差,配套改进全变分正则化图像融合算法做后端数字校正。光学层面Zemax单独仿真F(486nm)、D(587nm)、C(656nm)三色光光路,量化不同偏转角垂轴色差数值,为图像处理算法提供原始色差数据支撑,实现“光学设计+计算成像”联合优化。

基于Zemax的全流程仿真

该论文全部光学仿真、像质评价、多工况对比均基于Zemax完成,覆盖初始建模、像差优化、多工况批量仿真、多维度指标量化四大核心环节,完整展示Zemax在医疗微型自适应光学领域的极大优势。

3.1基础系统建模与初始像差优化

1.介质参数精准录入:在Zemax材料库自定义两类流体光学介质,录入液体棱镜、液体透镜所用油性/水性液体、硼硅玻璃、PMMA隔片折射率、阿贝数,匹配可见光380~780nm医用成像波段。

2.基础光路搭建:依次建立液体棱镜多折射界面、7片固体透镜组、液体透镜密封界面,设置系统F数5.3、像面尺寸2mm、系统总长约束14.08mm,添加外径、通光口径边界限制,贴合临床微型化硬性内窥镜尺寸标准。

3.全局优化函数设定:优化目标包含MTF>0.2@150lp/mm、畸变<5%、垂轴色差最小、相对照度>75%,Zemax全局优化器自动匹配各镜片曲率、厚度、空气间隔,得到初始标准光路。

3.2多偏转角度视向仿真(多重结构核心应用)

流体棱镜隔片0°~20°多级偏转对应±7.2°实际视场偏移,利用Zemax多重结构功能一次性建立5组光路模型,批量仿真不同偏转角下成像性能:

1.视场偏移量化:无偏转视场范围-35°~35°;20°最大隔片偏折对应视向整体偏移7.22°,观测横向范围大幅拓宽。

2.像差批量输出:Zemax自动计算各组态横向色差、光学畸变、梯形畸变,得出20°偏转时最大垂轴色差11.2μm,畸变峰值14.8%,精准定位边缘视场像质衰减问题。

3.分波长MTF、点列图批量生成:分别输出486nm、587nm、656nm单色光成像结果,直观区分偏转带来的场曲、像散劣化程度,为光学结构迭代、算法校正提供数据依据。

图2  硬性内窥镜系统在不同偏折角度下的2D结构图

图3  硬性内窥镜系统的横向色差和畸变分布图

3.3液体透镜景深拓展工况仿真

原生系统景深仅12.51~21.44mm,借助Zemax多重结构模拟液体透镜-30D/0D/+30D三档光焦度,分别仿真10mm近端、15.8mm标准、25mm远端工作距离成像效果:

1.离焦状态仿真:液体透镜0D光焦度下,10mm、25mm物距MTF大幅衰减,点列图弥散严重,直观展示原生景深不足缺陷。

2.调焦优化仿真:调节液体透镜至对应光焦度后,Zemax仿真显示MTF曲线恢复至基准系统水平,光斑收缩至艾里斑范围内,清晰验证景深拓展效果。

3.景深量化计算:依托Zemax输出焦距、光圈、艾里斑参数,结合景深公式计算,系统有效观测区间拓宽至10~25mm,景深提升68%。

图4 10mm工作距离下系统的液体透镜不同光焦度像质评价

图5 25mm工作距离下系统的液体透镜不同光焦度像质评价

3.4成像仿真与算法校正数据支撑

Zemax输出最大视向偏转状态下胆囊人体组织仿真成像图,图像自带真实光学色差、畸变、边缘模糊效果,作为后端全变分图像融合算法的原始输入样本。通过校正前后PSNR、SSIM指标对比,验证光学系统+数字图像处理联合方案的成像提升效果,整套光学仿真数据为算法迭代提供精准、可复现的成像源文件。

图6  视向偏转前后的成像效果评价

Zemax验证下可调硬镜核心性能指标

依托Zemax全工况仿真量化,该自适应光学硬性内窥镜系统达成多项行业突破性指标,全部数据由软件直接导出,仿真结果与理论计算高度匹配:

1.视向调节性能原生70°总视场,X/Y双向连续可调±7.2°,单镜替代多台固定角度内窥镜,降低设备采购与手术器械切换成本;

2.景深拓展能力清晰工作距离10mm~25mm,相比传统硬镜景深提升68%,术中无需频繁进退镜体,降低手术误伤风险;

3.成像分辨率物方最小分辨距离0.055mm,物方角分辨率6.34cycle/°,精准识别腹腔微小病变;150lp/mm空间频率下全视场MTF稳定大于0.2;

4.光学畸变控制基准状态最大畸变仅3%,远低于传统大视场硬镜20%畸变水平,病灶形态无失真;

5.尺寸适配性系统总长14.08mm,最大机械外径7.2mm,配套环形光纤照明后整体外径控制在10mm以内,符合微创腹腔镜临床标准;

6.色差校正增益Zemax量化偏转色差后,配套改进全变分算法校正,图像PSNR较传统方案提升约20%,色彩分层伪影有效消除。

总结

微创外科向更小口径、更广观测范围、更高成像质量发展是确定趋势,基于液体棱镜、液体透镜的自适应光流体光学,将成为下一代可调硬性内窥镜主流技术路线。四川大学团队依托Zemax完成整套光学系统从建模、优化、多工况仿真到像质量化的全流程研发,验证了单镜实现视向、景深双维度连续可调的技术可行性。光学仿真工具是医疗器械研发降本增效、缩短迭代周期的核心底座。Zemax凭借强大的多重结构仿真、自定义介质、全维度像质评价能力,充分适配自适应流体光学、微型医用镜头等前沿光学研发场景。

参考文献

[1] LIU Yushui, XIE Bingkun, LI Lei. Design of rigid endoscope objective lens system with adjustable viewing direction and depth of field[J]. Journal of Applied Optics, 2026, 47(3): 666-679.


来源:摩尔芯创
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首次发布时间:2026-07-13
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Lumerical亚波长模型:如何模拟具有空间变化的光栅

引言单个.json文件可以包含多组光栅仿真数据。基本原理是定义一个网格点阵,并为每个点分配一个索引。当光线在特定空间位置与光栅相交时,Zemax和Speos等光线追迹软件会根据光线在表面上的位置匹配对应的衍射级次。该功能主要用于仿真平滑渐变的光栅。如果光线入射到多个网格点之间的位置,软件会根据邻近网格点的响应(如衍射级次的方向或效率)做线性插值(可关闭)。因此,对于线性变化(或完全无变化)的区域,只需定义该区域端点处的响应,而对于变化非常块的区域,则需要提供大量数据点以提高采样精度。每种光栅变体,都可以完全自定义其参数(周期、材料、高度、占空比等)。自2026 R1.1 版本起,软件新增脚本命令lmapexport(详见文末链接[1]),用于导出.lswm 与.lmap 文件。如何使用RCWA求解器生成.lswm和.lmap文件该工作流程中最复杂的环节是生成包含完整空间信息的.json文件,具体步骤如下:1.定义采样点网格2.定义索引映射3.定义倒格矢4.用RCWA求解器计算响应并生成.json文件定义采样点网格生成数据的第一步是定义空间变化的点阵映射。构建空间渐变映射有三种方式:直角坐标 (x,y)极坐标 (r,θ)自定义参数扫描:这种特殊情况允许直接调用索引编号而非空间坐标定义索引映射每个网格点都标注一个0至M的索引,M是小于等于空间映射中定义的网格点数的整数。如果多个点具有相同的索引,则表示这些位置使用相同的光栅。如果索引设置为0(或任何小于1的值),则表示该位置没有光栅,光线交互将遵循菲涅耳定律。注意,采样必须是规则的矩形点阵。若要定义非矩形区域,可将光栅区域外点的索引设为 0。定义倒格矢.json 文件不包含光栅的具体结构信息(如高度、占空比、倾斜角),它只包含由 RCWA 计算得到的一组响应。但需要指定光栅周期,以便进行数据读取的光线追迹软件(Ansys Zemax OpticStudio 或 Ansys Speos)得到给定衍射级次效率的同时,还能确定其传播方向。因此,除了索引之外,还需要为每个网格点提供定义光栅周期和方向的倒格矢。文件支持二维光栅,在每个点处可以提供两个倒格矢,并分别标记为1和2。对于一维光栅,第二个矢量可以简单地设为 0。使用RCWA求解器计算响应并生成.json文件对于无空间变化的简单情况,可以直接右键点击 RCWA 结果将其导出为.json文件。在定义了空间变化的情况下,RCWA求解器需多次运行,针对前述不同索引定义的每种光栅变体都进行一次求解。附件中提供了一些示例脚本,可用作模板。以下是脚本中需要设置的参数列表:空间映射spatial_variation_or_parameter_scan.pos_x # 大小为 1 x N1 的向量spatial_variation_or_parameter_scan.pos_y # 大小为 1 x N2 的向量spatial_variation_or_parameter_scan.pos_rad # 大小为 1 x N1 的向量spatial_variation_or_parameter_scan.pos_pol # 大小为 1 x N2 的向量spatial_variation_or_parameter_scan.par_1 # 大小为 1 x N1 的向量spatial_variation_or_parameter_scan.par_1_name # 字符串spatial_variation_or_parameter_scan.par_2 # 大小为 1 x N2 的向量spatial_variation_or_parameter_scan.par_2_name # 字符串索引映射patial_variation_or_parameter_scan.index_map # 大小为 N2 x N1 的矩阵倒格矢reciprocal_lattice_vector_1 # 大小为 M x 2 的矩阵reciprocal_lattice_vector_2 # 大小为 M x 2 的矩阵M是spatial_variation_or_parameter_scan.index_map中的最大索引编号。注意,即使光栅没有周期变化(仅其他参数渐变或无渐变),也必须将倒格矢复 制到矩阵中,使其保持M行。还需要注意,不同光栅变体在RCWA中的输出级次可能不同(例如,某种情况下存在+2级次,但另一种情况下不存在),但每种光栅的运行数据集应具有相同大小。下文示例的仿真脚本中,指定了读取级次列表,以确保所有数据集维度一致。在Ansys Zemax OpticStudio中的使用在OpticStudio中的使用方法与无空间渐变的情况类似,从下拉列表中选择.json文件即可。更多信息请参阅Lumerical亚波长模型在Zemax OpticStudio中的使用(详见文末链接[2])。具有空间变化的.json文件需要2024.R2.2及更高版本的DLL。相比旧版本,新的DLL增加了一些额外参数:随机模式(Stochastic Mode):以随机模式追迹光线,而非将光线分裂为多条光线。测试模式(Test Mode):此变量用于故障排除。可以设置为不同的值,以在日志文件中输出不同级别的信息。日志文件生成在 Zemax DLL 衍射文件夹中,.json文件也位于该文件夹。0:不记录+1:重大问题日志+16:每条光线的日志+32:DLL 导出详细日志文件(光线较多时文件可能很大)光栅旋转(Rotate Grating):启用后可将光栅旋转指定角度(单位为度)。检查环境折射率(Check Environment index):这是一个标志位,用于避免在与RCWA 表征环境不同的配置中使用光栅。如果设为 1,Zemax OpticStudio中定义的材料折射率将与.json文件中写入的材料折射率进行比较。如果两者不同,光线追迹将报错。参数扫描1和2(Parameter Scan 1 and 2):选择自定义方法定义时使用的参数。允许直接从.json文件中调用所需的索引。禁用插值(No Interpolation):此变量用于关闭插值功能。此时,将使用最近的定义点来确定任意给定位置的光栅参数。根据该参数的输入值,可以停用不同级别的插值:0:插值开启+1:禁用波长插值+2:禁用角度插值+4:禁用空间 (xy) 插值例如,如果设为6,则禁用角度和空间插值。设置为7表示完全禁用插值。注意,插值标志可以直接在文件中设置,但可能会被此参数覆盖。在Ansys Speos中的使用在Ansys Speos中,没有像Zemax OpticStudio中那样用于设置插值标志的额外参数。如果要在Speos中开启或关闭插值,应直接在文件中设置插值标志。以下是开启和关闭插值的标志列表。默认情况下,所有插值均开启。polarization_interpolate_over_theta_ux_kxpolarization_interpolate_over_phi_uy_kypolarization_interpolate_over_wavelengthpolarization_interpolate_over_spatial_paramete在文件中将polarization_interpolate_over_spatial_parameter设为False/0,可以关闭插值。更多信息请参阅Lumerical亚波长模型在Speos中的使用(详见文末链接[3])。注意,使用空间变化时,是在表面的指定空间区域内定义光栅,无法使用UV映射对其进行缩放或旋转,但可以通过手动旋转附着于表面的坐标系来改变光栅方向。如何使用RCWA求解器生成.lswm和.lmap文件生成.lswm文件按照以下步骤从RCWA求解器中,以.lswm格式导出扫描结果:常规设置RCWA仿真:在RCWA设置的General选项卡中,设置传播方向为双向(both)。在RCWA设置的Results选项卡中,启用报告光栅特征(report grating characterization)选项、。在扫描结果中添加report grating characterization和substrate。运行扫描。右键点击扫描,选择“Export to LSWM”。此时会弹出对话框。在对话框中,有若干选项需用户自行设置:- Lattice angle (degrees):RCWA 几何选项卡中所用的晶格角。- Backward definition:与RCWA General页定义一致。- Lossless:默认值为否。包层或者衬底无损耗时,启用该选项。- Interpolate over incident angle:默认值为否。启动该选项可启动入射角度的线性插值响应。- Interpolate over incident wavelength:默认值为否。启动该选项可启动波长点的线性插值响应。- Truncate order:默认值为否。启用此选项可启用光栅级次截断。设置为否时,所有衍射级次都会保留,如果启用则需要提供衍射级次的最大和最小值。- Polarization interpolation basis:在导入LSWM文件时,设置用于极化插值的基础信息,可选SP、XY和Auto。- Resampling parameter:选择要重采样的参数以及重采样的点数,重采样的点数必须是大于2的整数值。在所有的重采样选项中,只能选择一个参数进行。选择LSWM文件的生成路径和名称,可以编辑文本框或使用另存为按钮打开文件对话框来完成。点击OK以保存文件。此外,也可以使用lswmexport脚本命令(详见文末链接[4])。下面是使用脚本导入.lswm文件的示例:lswmFile="export_sweep.lswm";span = [getnamed("RCWA","x span"), getnamed("RCWA","y span"),getnamed("RCWA","z span")];latticeVectorAngle = getnamed("RCWA","lattice vector angle");grating_characterization = getsweepresult("sweep","grating_characterization");substrate = getsweepresult("sweep","substrate");lswmexport({"grating_characterization":grating_characterization, "substrate":substrate,"lattice_angle":latticeVectorAngle, "mirror_k_vector":1,"span":span},lswmFile,{"polarization_interpolation_basis":"AUTO","truncate_order":true,"truncate_order_min":-1, "truncate_order_max":1, "lossless":1});生成.lmap文件生成包含所有所需空间信息的.lmap文件的步骤如下:1. 定义采样点网格2. 定义索引指标3. 生成包含索引映射的LMAP文件定义采样点网格第一步是为空间变化定义一个点分布图,构建空间变化分布图有两种选择:笛卡尔坐标 (x,y)极坐标 (r,θ)定义索引映射每个网格点都标有从-1到M-1的索引,其中M为扫描点的数量。如果多个点拥有相同的索引,则说明这些点用了相同的光栅。如果某个索引设置为-1(或者任何小于0的值),则表示此位置没有光栅,光线的相互作用将应用菲尼尔定律。注意采样需要规则的矩形网格点,如要定义非矩形区域,需要将光栅外点的索引设置为-1。也可以使用嵌套扫描来改变多个参数,比如除了光栅的倾斜角之外还希望改变占空比,扫描应如下设置:如果占空比在0.2到0.8之间变化,倾斜角度在10°到60°之间变化,则嵌套参数列表如下图所示: 定义了索引图后,可以使用lmapexport命令(详见文末链接[1])来导出LMAP文件。下面为一个以极坐标形式导出LMAP的示例:map_type = "polar";lswmFile = "1D_slant_polar.lswm";cellTypeMap = [ 0,0,0,0,0,0,0,0,0;1,1,1,1,1,1,1,1,1;2,2,2,2,2,2,2,2,2;3,3,3,3,3,3,3,3,3]; #dim1: R from to size_R // dim2: phi from -180 to 180size_R = 2; #maximum radius sizeinterpolate_over_spatial_coordinate = true;spatialInfo = {"size_R":size_R};mapInfo = {"map_type":map_type, "spatial_info":spatialInfo, "cell_type_map":cellTypeMap};lmapexport(lswmFile,mapInfo,interpolate_over_spatial_coordinate);应用示例示例1:XY直角坐标系的简单映射使用Ansys Zemax OpticStudio该示例的json文件使用脚本文件生成。之后打开对应的Zemax工程文件仿真其在光线追踪环境下的表现。用4个点(正方形的4个角)定义一个2mm*2mm的光栅区域,在正方形的2个点上定义周期为5um的光栅,另外2个点上定义周期为9um的光栅。用于生成json文件的Lumerical脚本如下:脚本同样包括针对这两种情况运行RCWA并将结果写入json文件的部分。在Zemax OpticStudio中可以查看的结果如下所示:使用Ansys Speosjson文件同样可以被Speos读取。打开对应的Speos工程文件,在仿真选项卡中,确保在Surface_json属性中选中了.sop和.json文件,之后运行Direct_Normal_Source仿真。示例2:极坐标系的简单映射该示例的json文件使用脚本文件生成。之后打开对应的Zemax工程文件仿真其在光线追踪环境下的表现。该示例中,定义了沿径向2mm的渐变。由于只考虑一个角度,该变化将以类似的方式在所有极角上产生,即该渐变旋转对称。示例3:高级映射该示例的json文件使用脚本文件生成。之后打开对应的Zemax工程文件仿真其在光线追踪环境下的表现。该示例中,展示了如何使用XY直角坐标系网格定义非矩形的光栅区域,基本思路将所需光栅区域外的所有点的索引定义为0。示例4:使用RCWA中的LSWM和LMAP文件进行简单的地图导出该示例中使用了倾斜光栅,对光栅的倾斜角度在10°至60°范围内以1°的步长进行扫描。波导内的中心传播角度约为51°。预计倾斜角约为10°时,+1级次的Tss达到最大值。使用倾斜光栅作为耦入光栅,设置并运行后右键单击RCWA结果中的‘grating_characterization’并导出LSWM文件。在对话框中将插值设置为‘true’并截断数据只保留±1和0阶衍射结果。此时,光栅未考虑空间变化。对于耦出光栅,需要扫描其倾斜角度,因此文件要从扫描结果中导出。运行扫描后单击扫描对象,并将结果导出为LSWM文件。弹出对话框中的设置与前述相同。如要生成LMAP文件,则需与脚本配合。可以使用lmapexport脚本命令生成空间变化的映射。如下图,该映射在一个方向上定义了倾斜角度的变化,在另一个方向上则没有变化。在Zemax中的设置首先,将所有的.lswm和.lmap文件以及提供的 lumerical-sub-wavelength-2026R1.dll 复 制到 Zemax>>DLL>>diffractive 文件夹中。耦出光栅独立验证首先独立验证耦出光栅的表现,光栅设置如下:可以观察到光栅衍射效率的变化符合预期:注意,只需要选择.lswm文件。动态链接库(DLL)会自动查找同名的.lmap文件,如果未找到与.lswm文件同名的映射文件,则不存在空间变化。完整的系统验证在最后的系统中,我们有耦入光栅和耦出光栅。首先,如果我们对耦入和耦出光栅都不设置空间变化,此时的仿真结果如图:为了使输出更均匀,我们在耦出光栅上设置空间变化: 相关链接[1]lmapexport脚本命令https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/50997817911699-lmapexport-Script-command[2]Lumerical亚波长模型在Zemax OpticStudio中的使用https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/18427154870803-Lumerical-Sub-wavelength-Model-Usage-in-Zemax-OpticStudio[3]Lumerical亚波长模型在Speos中的使用https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/13240235894035-Lumerical-Sub-wavelength-Model-Usage-in-Speos[4]lswmexport脚本命令https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/13817263692563-lswmexport-Script-command来源:摩尔芯创

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