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Zemax | 基于自由曲面的高分辨率成像光谱仪设计

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引言

成像光谱仪作为集“光谱分析”与“空间成像”于一体的先进光学设备,在环境监测、生物医学、材料科学、空间遥感等领域具有重要应用。其通过对目标物质光谱与空间信息的联合分析,能够实现物质的“定性”“定量”和“定位”探测,为科学研究和实际应用提供高效、精确的信息。

传统Czerny-Turner(C-T)型光谱仪因色散均匀、工艺成熟,长期占据主流市场,但球面反射镜的固有缺陷使其难以校正全波段像差,性能提升受限。近日,华东师范大学精密光谱科学与技术国家重点实验室谢微团队[1]提出基于自由曲面反射镜的高分辨率成像光谱仪设计方法,通过“离轴抛物面分段拼接+Zernike多项式拟合”的创新路径,通过Zemax仿真优化,成功实现全波段全视场像差校正,其光谱分辨率达0.015nm,优于市面同类型商用产品,为高分辨率成像光谱仪的设计提供了全新思路。

子镜的构建到曲面融合

要实现自由曲面对C-T型光谱仪的性能升级,关键在于构建合理的初始结构——团队以C-T光路为基础,通过“子镜参数计算”与“分段拼接拟合”两大步骤,突破了传统自由曲面设计的计算壁垒。

1.1 C-T光路结构

C-T型光路的核心组成的为“入射狭缝-准直镜-光栅-聚焦镜-探测器”,如图1所示:光线经狭缝进入系统后,由准直镜将发散光束转化为平行光;光栅对平行光进行光谱分光,使不同波长光线以不同角度衍射;最终,聚焦镜将衍射光汇聚至探测器对应位置,完成光谱信息记录。

图1 C-T型光路结构示意图

该团队在保留这一经典框架的同时,针对“像差校正”这一核心痛点,提出将“准直镜与聚焦镜”替换为自由曲面反射镜——其中,聚焦镜通过“分段拼接离轴抛物面”生成,准直镜则通过Zernike多项式直接优化,从结构源头解决全波段像差问题。

1.2 子镜参数计算

自由曲面的初始结构源于“离轴抛物面子镜”的拼接——抛物面镜对平行光具有无像差成像特性,但单一离轴抛物面无法适配不同波长的衍射光线(不同波长经光栅衍射后角度不同)。因此,团队选取三个采样波长(475nm、500nm、525nm,覆盖CCD像面50nm光谱范围),为每个波长设计专属的离轴抛物面子镜。

子镜参数的计算需满足两大核心约束:

1)基底约束以“焦点位于光栅中心”的离轴抛物面为基底(图2中红色虚线),确保不同波长的衍射主光线经基底反射后平行于基底轴线;

2)焦点约束根据探测器初始位置,确定各子镜的焦点(即主光线与探测器的交点O₁、O₂、O₃)。

图2 子镜求解示意图

通过建立平面坐标系(y'Oz',O为光栅中心),结合抛物面方程、光栅方程与衍射角计算,团队最终求出三个子镜的关键参数:曲率半径分别为995.595mm(475nm)、1001.531mm(500nm)、1006.664mm(525nm),为后续拼接奠定了精准的几何基础。

1.3 分段拼接与Zernike拟合

直接拼接子镜会导致面型不连续,无法满足实际光学需求。因此,团队引入Zernike多项式(一组定义在单位圆上的正交多项式),通过“拟合”实现子镜面型的顺滑融合。

Zernike多项式在光学设计中具有独特优势:1)正交性确保拟合系数求解简单,且各项系数互不干扰,项数越多拟合误差越小;2)每一项多项式对应一种特定像差(如倾斜、离焦、像散、彗差),可精准匹配不同波长的像差校正需求。

拟合过程中,团队还解决了一个关键问题——倾斜项(C₃)的干扰:倾斜项对应平面面型,占比大且难以被高阶曲面拟合,会显著降低精度。因此,团队先去除子镜的倾斜项,仅对离焦(C₄)、像散(C₆)、彗差(C₇)等关键像差进行高阶拟合,再将倾斜项固定为基底面(500nm子镜)的系数。

最终,通过定义分段区域(子镜1:ρ=0.5~1、θ=4π/3~5π/3;子镜3:ρ=0.5~1、θ=π/3~2π/3;其余为子镜2),利用Zernike多项式前28项对拼接面进行拟合,生成了连续、顺滑的聚焦镜自由曲面;同时,对准直镜进行Zernike多项式(前7项)拟合,完成系统初始结构设计

利用Zemax仿真优化

初始结构完成后,团队通过Zemax光学设计软件进行仿真与优化,验证设计合理性并进一步提升系统性能。Zemax作为行业主流光学仿真工具,可精准模拟光线传播过程,量化评估像差、光斑尺寸、调制传递函数(MTF)等关键指标。

2.1 分阶段优化策略

团队采用“两阶段优化”策略,确保系统在全视场、全波段范围内的高性能:

第一阶段中心视场优化不考虑狭缝高度(仅聚焦中心视场),以“聚焦光斑均方根(RMS)半径最小”为评价函数,优化变量包括:聚焦镜的Zernike系数、准直镜与聚焦镜的倾斜角、像面到聚焦镜的距离、像面倾斜角。当光斑尺寸接近艾里斑(光学系统的衍射极限)时,进入下一阶段。

第二阶段全视场优化考虑6mm高狭缝的全视场范围,在狭缝高度方向选取多个视场点,释放准直镜前10项Zernike系数,与第一阶段的优化变量联合迭代,最终实现全视场像差的高效校正。

2.2 仿真结果评估

通过Zemax仿真,团队从“光斑质量”“成像性能”“光谱分辨率”三个维度,全面验证了系统性能:

1)光斑质量:全波段全视场RMS半径<4μm。

图3 优化前后系统的全波段聚焦光斑均方根半径

其中,图3(a)对比了子镜、初始拟合面与优化后自由曲面的光斑RMS半径,可见优化后的自由曲面在全波段范围内综合了子镜的优势,校正效果显著;图3(b)为优化后光斑的放大图,进一步验证了“全波段RMS半径<4μm”的优异性能。

(2)成像性能:MTF接近衍射极限,对比度优异

调制传递函数(MTF)是评价光学系统成像质量的核心指标,其值越接近1、下降越平缓,说明系统还原图像细节与对比度的能力越强(最大参考频率为CCD像元尺寸对应的31.25lp/mm)。

仿真结果显示(如图4所示),优化后系统在475nm、500nm、525nm三个关键波长下,MTF曲线均接近衍射极限,且在31.25lp/mm处的MTF值均大于0.7——这意味着系统即使在高空间频率下,仍能保持优异的图像对比度,可精准还原目标的空间细节。

图4 优化后的MTF曲线

(3)光谱分辨率:0.015nm,优于商用产品

光谱分辨率是光谱仪区分相邻波长的能力,值越小性能越强。团队基于“瑞利判据”,在10μm狭缝宽度、500mm焦距、1200lp/mm光栅的条件下,对475nm、500nm、525nm附近的邻近波长进行测试。

仿真结果如图5所示:图5(a)验证了全视场内所有波长的光斑RMS半径均<4μm;图5(b)展示了像面的光斑分布,可见相邻波长的光斑可清晰区分,最终实现0.015nm的光谱分辨率,优于市面同类型商用光谱仪(通常为0.02nm以上)

图5 系统的成像与光谱分辨评价

研究价值

该研究的创新之处,在于提出了一种“计算简洁、逻辑清晰”的自由曲面设计方法——通过“离轴抛物面分段拼接”规避了传统方法的经验依赖,借助“Zernike多项式拟合”简化了复杂计算,最终实现了“高成像质量”与“高光谱分辨率”的双重突破。

从应用价值来看,该系统不仅可满足环境监测、生物医学、材料科学等领域对“精准探测”的需求,其设计思路还为其他光学系统(如大视场望远镜、高精度成像镜头)的自由曲面设计提供了参考,推动自由曲面从“理论研究”向“工程应用”的转化。

参考文献:

[1]武艳艳,谢微.基于自由曲面的成像光谱仪设计[J].光子学报,2025,54(8):0811003


来源:摩尔芯创
HFSS半导体光学电力电子芯片UMOptiSlang理论Lumerical材料曲面Zemax
著作权归作者所有,欢迎分享,未经许可,不得转载
首次发布时间:2025-11-10
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