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Zemax案例 | 基于Zemax实现AR波导全视野高均匀性设计方案

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引言

在增强现实(AR)技术飞速发展的当下,波导式AR显示设备因兼具紧凑性与宽视野优势,成为行业研发的核心方向。而眼动范围(Eyebox)的照度均匀性,直接决定了用户的沉浸式视觉体验,是波导式AR显示技术突破的关键痛点。天津大学团队在《Optics Express》发表的研究中,提出基于随机掩模光栅(RMG)的L型光栅波导设计方案[1],成功在20°×15°视野范围内实现全视野眼动范围均匀性均大于0.78的优异效果。而在这一创新研究的成像质量验证环节,Zemax软件凭借强大的光学仿真能力,成为验证随机掩模光栅成像性能的核心工具,为AR光栅波导的设计与优化提供了精准的技术支撑。

AR光栅波导的眼动范围均匀性难题

AR技术自上世纪60年代问世以来,已广泛应用于军事、娱乐、医疗、教育等多个领域。其中,光栅波导因能通过出瞳扩孔器(EPE)实现大视场、大眼球盒,成为近眼AR显示的主流技术方案。但在实际应用中,光栅波导的出瞳扩展过程中,未衍射光的能量会逐渐衰减,导致眼动范围内的空间照度均匀性变差——用户眼球转动时,虚拟图像的亮度会出现明显波动,严重影响视觉体验。

为解决这一问题,行业内先后提出多种优化方案:如对称双目波导系统、分区域设计衍射效率光栅、考虑多视场的衍射效率优化等。但这些方案均存在明显短板:部分方案仅优化中心视场,边缘视场均匀性不佳;部分方案需迭代计算衍射效率分布,计算效率低下;还有部分方案要求设计复杂的光栅子结构,大幅提升了制造难度,难以实现产业化应用。实现全视野范围内的高眼动范围均匀性,同时兼顾设计效率与制造可行性,成为AR光栅波导技术发展亟待突破的核心问题。

随机掩模光栅(RMG)的创新设计思路

针对传统方案的不足,天津大学团队提出了以随机掩模光栅(RMG)为折叠光栅和出耦合光栅的L型光栅波导创新设计,从原理上简化了光栅波导的设计流程,同时实现了全视野的高眼动范围均匀性。

核心原理:不变光栅结构,调控掩模填充因子

与传统方案通过修改光栅结构实现衍射效率分布调控不同,随机掩模光栅的核心创新点在于:保持单个光栅的结构不变,通过调整掩模的填充因子(光栅结构存在概率,PGS)实现等效衍射效率的精准调控。

随机掩模光栅被划分为众多方形单元,每个单元中光栅结构的存在与否呈随机分布,而整个光栅的物理结构保持一致。沿出瞳扩展方向逐步提高光栅结构的存在概率,即可实现衍射效率的梯度分布,其效果与传统多子区域光栅一致,但无需设计多种光栅结构,大幅降低了设计与制造难度。

图1 (a)传统多子区域光栅;(b)随机掩模光栅(RMG)

理论分析:解析解推导衍射效率分布

团队基于经典L型光栅波导模型,对水平和垂直方向的出瞳扩展过程进行了详细的理论分析,通过微分方程推导得出满足照度均匀性条件的衍射效率分布解析解:

1.折叠光栅(水平EPE):仅考虑零级和-1级反射衍射,推导得出-1级衍射效率的双变量分布函数,实现水平方向眼动范围均匀性调控;

2.出耦合光栅(垂直EPE):考虑零级、-1级、-2级衍射的能量损耗,通过简化微分方程,得出零级衍射效率的分布解析解,实现垂直方向均匀性调控。

该设计通过将衍射效率分布拆解为角度相关项与空间相关项的乘积,利用随机掩模光栅的填充因子调控空间相关项,光栅结构调控角度相关项,实现了全视野、全方向的衍射效率精准匹配。

图2 传统的L形光栅波导系统。(a)波导结构示意图;(b)K空间分析图

图3 基于RMG的L型光栅波导布局图

光栅优化:RCWA结合PSO的精准设计

为实现理论推导的衍射效率分布,团队采用严格耦合波分析(RCWA)结合粒子群优化(PSO)算法,对折叠光栅、出耦合光栅及入耦合光栅的结构进行了优化设计:

1.确定光栅核心参数:选用532nm波长,HOYA-FD60W玻璃为波导基底(折射率1.817),波导厚度1mm,入耦合光栅、折叠光栅、出耦合光栅周期分别为440nm、311nm、440nm;

2.子区域划分:将折叠光栅(30mm)分为15个水平子区域,出耦合光栅(18mm)分为9个垂直子区域,设置填充因子下限0.3,避免眼动范围局部无光照;

3.结构优化:光栅采用梯形结构(可通过纳米压印技术批量制造),镀TiO₂膜层使衍射效率曲线更平滑,通过PSO算法优化光栅深度、膜层厚度、形状参数等,使光栅衍射效率与理论解析解高度匹配。

优化后的入耦合光栅为锯齿形结构,镀银层后非偏振光平均衍射效率达0.747,为整个波导系统提供了高效的光耦合能力。

图4 (a)入射耦合光栅结构示意图;(b)入射耦合光栅衍射耦合效率

Zemax精准验证随机掩模光栅的

成像性能

在随机掩模光栅的设计中,掩模的随机分布是否会影响成像质量,是方案可行性的关键验证点。该团队采用Zemax搭建仿真模型,对随机掩模光栅的成像性能进行了系统验证,为方案的可行性提供了精准的仿真数据支撑。

Zemax仿真模型搭建

团队在Zemax中构建了模拟人眼的成像系统:采用直径3mm、焦距23mm的理想透镜模拟人眼光学系统,在光路中加入填充因子(PGS)为0.3的随机掩模光栅,模拟实际应用中随机掩模光栅对成像的影响。

核心仿真指标:调制传递函数(MTF)

调制传递函数(MTF)是评价光学系统成像清晰度的核心指标,反映了系统对不同空间频率细节的传递能力。团队通过Zemax仿真,获取了不同像素尺寸(0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm)下随机掩模光栅的MTF曲线,并与无掩模的衍射极限MTF曲线对比。

图5 (a)带有随机掩模的成像系统;(b)中心场的MTF曲线

仿真关键结论

Zemax的仿真结果显示:当随机掩模光栅的像素尺寸为0.2mm时,其MTF曲线在空间频率低于40lp/mm时与衍射极限高度重合,即使在100lp/mm的高空间频率下,MTF值仍大于0.61。而100lp/mm的空间频率对应20°×15°视野下1600×1200的分辨率,完全满足AR近眼显示的视觉要求。这一结果充分证明,随机掩模光栅的随机分布对成像质量的影响在可接受范围内,为该设计方案的实际应用奠定了重要的成像性能基础。

系统仿真:多软件联合验证方案可行性

在完成光栅结构设计与Zemax成像性能验证后,团队采用Lighttools与Rsoft软件搭建了完整的L型光栅波导系统仿真模型,对全系统的眼动范围均匀性、能量效率进行了全面验证,同时结合Zemax的成像仿真结果,形成了“设计-成像验证-系统验证”的完整仿真流程。

仿真模型构建

1.利用Rsoft软件的RCWA功能,生成折叠光栅、出耦合光栅、入耦合光栅的双向散射分布函数(BSDF),精准描述光栅的衍射特性;

2.在Lighttools中搭建L型光栅波导的三维模型,导入Rsoft生成的BSDF文件,设置波导的全内反射(TIR)条件,模拟光在波导中的传播、耦合、出瞳扩展过程;

3.考虑光的偏振特性,采用9点法评价眼动范围均匀性:在16mm×12mm的眼动范围内均匀选取9个3mm×3mm的区域,计算各区域的平均照度,通过公式计算空间均匀性。

图6 (a)Lighttools中搭建的L形光栅波导模型;(b)九点法示意图

核心仿真结果

1.眼动范围均匀性:在20°×15°的全视野范围内,所有视场的眼动范围均匀性均大于0.78,中心视场均匀性更是超过0.84,远优于传统设计方案,能为用户提供无亮度波动的沉浸式视觉体验;

2.全视野均匀性补充验证:采用3mm×3mm卷积核对整个眼动范围的照度分布进行卷积分析,以P5/P95值评价全视野均匀性,结果显示所有视场的P5/P95值均大于0.66,验证了全眼动范围的照度均匀性;

3.能量效率:全系统的能量效率为0.03~0.07,虽受多次衍射效应影响存在一定能量损耗,但可通过优化光栅结构进一步提升,且在均匀性优先的设计目标下,该能量效率处于可接受范围。

图7 卷积后中心区域的照度分布

仿真结果充分验证了基于随机掩模光栅的L型光栅波导设计方案的可行性,实现了“全视野、高均匀性、易制造”的设计目标,而Zemax作为成像性能验证的核心工具,为该方案的落地扫清了成像质量的关键障碍。

Zemax:AR光学设计的关键工具

从本次天津大学团队的创新研究,到全球AR/VR行业的技术发展,Zemax软件始终作为关键光学仿真工具,为各类新型光学结构的设计、验证、优化提供全方位的技术支撑。在AR光栅波导设计领域,Zemax的核心优势体现在:

精准的光学建模:支持光栅、波导、自由曲面等多种新型光学元件的建模,可精准模拟光在复杂光学系统中的传播规律;

全面的成像评价:提供MTF、畸变、照度均匀性、点列图等丰富的成像质量评价指标,满足AR近眼显示的高精度成像验证需求;

高效的优化能力:支持多种优化算法,可结合实际设计目标对光学系统进行快速优化,大幅缩短研发周期;

良好的兼容性:可与Lighttools、Rsoft、Matlab等软件无缝衔接,实现“光栅设计-系统仿真-算法优化”的一体化流程,适配前沿光学研究的复杂需求。

Ansys官网参考仿真案例:

参考文献:

[1] Wu Y, Pan C, Lu C, Zhang Y, Zhang L, Huang Z. Augmented reality display with high eyebox uniformity over the full field of view based on a random mask grating. Opt Express. 2024 May 6;32(10):17409-17423. doi: 10.1364/OE.521992. PMID: 38858925.

来源:摩尔芯创
ACTSystem电路半导体光学系统仿真电力电子MATLABUGUM理论曲面
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首次发布时间:2026-04-08
最近编辑:4月前
摩尔芯创
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Zemax案例 | 光束整形技术及其应用

引言在现代光学技术领域,激光器输出的高斯光束因强度分布不均导致能量利用率受限,光束整形技术作为提升光束均匀性、适配多场景应用的核心手段,已广泛渗透激光加工、光纤通信、医疗设备、激光雷达等关键行业[1]。从非球面透镜组的校正到液晶空间光调制器(LC-SLM)的动态调控,光束整形技术的迭代升级始终离不开专业光学设计软件的支撑。Zemax作为应用广泛的光学系统设计与仿真平台,凭借其强大的建模能力、准确的仿真算法和全流程优化工具,成为光束整形系统研发的核心驱动力。本文结合现有学术研究成果,解析Zemax在静态与动态光束整形技术中的应用价值。光束整形技术激光器输出的高斯光束呈中心强、边缘弱的钟形分布,能量利用率低的短板严重制约其在高端应用中的表现。光束整形技术通过光学元件调控光束的振幅、相位与偏振态,将高斯光束转换为平顶光束、环形光束等特定分布形式,从而提升能量均匀性与利用效率。根据光学元件的调控特性,该技术可分为静态光学元件整形与动态光学元件整形两大类,前者包括非球面透镜组、双折射透镜组、衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列等,后者以液晶空间光调制器(LC-SLM)为核心代表。近年来,光束整形技术的应用需求持续升级:激光加工领域需高精度平顶光束提升切割、焊接的一致性;光纤通信中需优化光束耦合效率以减少信号损耗;医疗场景要求光束能量密度适配手术需求,避免损伤健康组织;激光雷达则依赖动态光束调控提升目标探测精度。这些需求对光学系统的设计精度、仿真可靠性和迭代效率提出了严苛要求,而专业光学设计软件通过一体化的设计与仿真解决方案,为这些技术挑战提供了高效突破路径。静态光学元件整形系统:技术原理与设计要点静态光学元件整形系统凭借结构稳定、成本可控的优势,在中低功率激光应用中占据主要地位。其核心设计难点在于如何通过光学参数优化,实现光束均匀性与能量利用率的平衡。借助专业光学设计工具的光线追迹、衍射仿真、参数优化等功能,可适配各类静态光学元件的设计需求,大幅缩短复杂光学系统的研发周期。 (1)非球面透镜组 非球面透镜组通过特殊曲率设计校正球差,实现高斯光束到平顶光束的高效转换,其中伽利略型结构因适配大功率场景成为主流选择。论文研究表明,非球面镜的曲率系数、镜片间距、入射光束直径与发散角等参数,直接影响输出光束的均匀性。在光学设计过程中,工程师可完成从模型搭建到仿真验证的全流程工作: 仿真流程:结合论文中的能量守恒公式与光线追迹理论,通过专业设计工具导入光束参数、建立伽利略型非球面透镜组模型,完成仿真验证与参数优化,确定理想入射参数与镜片规格。 仿真成果:张子怡等人[2]通过拟合曲线发现光束均匀性入射光束直径为1.49mm,边缘陡度最小直径为1.44mm,光束均匀性入射发散角为8.6mrad,边缘陡度最小发散角为8.1mrad。该研究提供了一种根据入射光束直径和发散角来确定整形镜使用位置的方法,从而使得非球面整形镜的应用更为便捷有效。仿真生成的光路图(图1)直观呈现光束传输路径,其实验装置如图2所示。 图1 伽利略型非球面透镜组整形系统 图2 实验装置 (2)双折射透镜组 双折射透镜组利用晶体的偏振特性,通过相位差控制实现光束均匀化,其核心设计在于琼斯矩阵的光学传输建模与曲率半径优化。杨向通等人[3]通过微调透镜组角度,可将光束填充因子从66%提升至80%,而这一过程的仿真验证可通过Zemax高效完成: 仿真流程:基于论文琼斯矩阵模型,定义双折射晶体关键参数,通过专业设计工具搭建模型、模拟偏振调控过程,优化透镜结构参数以满足相位延迟要求。 仿真成果:可模拟双折射透镜组的偏振调控效果,生成光强透射率曲线,验证填充因子提升效果;同时通过公差分析功能,评估加工误差对整形效果的影响,为工程化生产提供风险预判。仿真图(图3)清晰展示偏振器、双折射透镜、空间滤波器的光路布局与光束传输特性。 图3 双折射透镜整形系统 (3)衍射光学元件(DOE) 衍射光学元件利用光的波动性实现相位与振幅调控,在小型化、集成化光学系统中不可或缺。其设计核心在于通过迭代算法优化相位分布,避免局部最优解。论文中提到的GS算法、混合遗传迭代爬山算法等,均可在专业设计工具中实现集成应用: 仿真流程:输入入射与目标输出光场参数,依托论文相关傅里叶变换理论,通过专业设计工具调用对应迭代算法,优化DOE相位分布并仿真对比不同算法的整形效果。 仿真成果:庞辉等人[4]利用混合遗传迭代爬山算法设计衍射光学元件,分别利用GS算法和混合算法进行模拟,GS算法得到的衍射效率为98.64%,均匀性为3.23%,而混合算法得到的衍射效率为95.41%,均匀性为0.41%。 (4)微透镜阵列 微透镜阵列通过分割光束并叠加干涉,实现多模激光的均匀化输出,其设计难点在于抑制干涉效应、提升能量利用率。李庞跃等人[5]为提高线阵半导体激光器的光束均匀性,满足小型扫描成像系统的微型化需求,提出了一体化透镜阵列光束整形系统设计方案。能量利用率达88.79%,均匀性94.51%。 仿真流程:结合Fresnel衍射积分公式,通过专业设计工具建立微透镜阵列模型、定义核心参数,仿真光束均化过程并优化阵列排布,抑制干涉效应。 仿真成果:可模拟微透镜阵列的光束均化效果,生成均化面光强分布仿真图,验证快轴发散角2.8mrad、慢轴发散角48.93%的设计指标;通过能量流分析功能,量化能量利用率与均匀性,为一体化结构设计提供数据支撑。动态光学元件整形系统动态光学元件以液晶空间光调制器(LC-SLM)为核心,凭借实时可编程、多参数可调的优势,成为高端光学系统的理想方案。其核心技术在于通过电场调控液晶分子排列,实现光束相位与振幅的动态调制。(1)LC-SLM的核心仿真原理LC-SLM的整形效果依赖液晶的电光效应(扭曲向列效应、电控双折射效应),其中相位延迟公式、分子偏转角与电压关系、强度调制公式均为仿真设计的核心理论依据。其仿真流程如下:物理模型搭建与仿真:结合论文中液晶电光效应相关公式,通过专业设计工具建立LC-SLM模型、定义核心物理参数,完成动态调制仿真与性能优化,验证设计合理性。(2)动态整形的仿真价值与应用效果动态性能可视化:可生成LC-SLM动态相位调制的仿真视频,直观呈现不同电压下光束形状的变化过程,验证输出光束与预定目标光斑99.83%的相似度。多目标优化:针对光束均匀性与能量利用率难以兼顾的问题,通过多目标优化算法,仿真叠加闪耀光栅移除零级光的效果,实现能量利用率72.3%、均匀性97.2%的方形平顶光束。算法集成适配:支持导入末位淘汰制GSGA混合算法优化后的相位分布函数,仿真结果显示误差平方和降低10.1%,对相位初值的依赖程度降低1个数量级。图4 液晶空间光调制器整形系统光束整形技术的行业价值彰显光束整形技术的应用场景已覆盖多个高端制造与科技领域,借助专业光学设计工具的赋能,该技术的应用价值得到充分释放,推动各行业实现技术升级与效率提升:(1)激光加工领域在激光切割、打标、焊接中,优化设计的非球面透镜组与微透镜阵列可生成高均匀性平顶光束,使加工精度提升,材料损耗降低。(2)光纤通信领域针对光纤耦合效率低的痛点,仿真优化的双折射透镜组与DOE元件,可将光束耦合效率提升至95%以上,减少信号传输损耗。在5G基站的光模块中,优化设计的光束整形系统实现波长复用与空间复用,使通信带宽提升2倍。(3)医疗设备领域在激光手术器械中,可控制光束能量密度分布,避免损伤健康组织。通过优化的LC-SLM动态整形系统,可实现手术光束的实时调整,使手术创伤面积减少,患者恢复周期缩短。(4)激光雷达领域在自动驾驶与地形测绘中,借助LC-SLM动态改变发射光束的形状与方向,提升目标探测精度与分辨率。通过优化光束整形系统,探测距离从200m提升至300m,障碍物识别准确率大大提升。Zemax在光束整形中的优势在光束整形技术从理论设计到工程落地的全流程中,Zemax作为应用广泛的光学系统设计与仿真平台,其核心优势集中体现为一体化全流程赋能能力,可无缝覆盖静态与动态光束整形系统的设计、仿真、优化与落地全环节,无需多软件切换,大幅提升研发效率与设计精度,成为光学工程师攻克技术难点的核心支撑。该一体化优势具体落地于全流程各环节:在设计建模阶段,可快速搭建非球面透镜组、DOE、微透镜阵列、LC-SLM等各类光学元件及系统模型,兼容论文中提及的各类物理公式与算法,无需手动编程即可完成复杂模型的构建;在仿真验证阶段,可同步实现几何光学光线追迹、物理光学衍射仿真、偏振调控、电光效应等多物理场耦合仿真,复现各类整形方案的实际效果,量化分析均匀性、能量利用率、衍射效率等核心指标,与实验结果的吻合度达99%以上;在优化迭代阶段,内置迭代傅里叶变换、GS算法、遗传算法等多种优化工具,可根据设计目标自动迭代调整参数,快速突破局部最优解,将设计误差降低至1%以内;在工程落地阶段,可生成直观的光路图、光强分布热图、相位分布图等可视化成果,方便方案汇报与团队协作,同时支持导出CAD加工文件与公差分析报告,实现从设计到生产的无缝衔接,有效缩短研发周期、降低研发成本。无论是静态整形系统的参数优化,还是动态LC-SLM的性能验证,Zemax的一体化优势均可适配,无需额外搭配其他设计或仿真工具,帮助企业快速攻克光束整形中的设计难点,加速技术成果的工程化转化,适配激光加工、光纤通信、医疗设备、激光雷达等多行业的应用需求。参考文献[1] 祝战科, 袁英敏, 柯熙政. 光束整形技术及其应用的研究进展[J]. 应用光学, 2025, 46(4): 776-785. DOI: 10.5768/JAO202546.0401009[2] Zhang Z Y, Chen M, Wang C L, et al. Research on shaping characteristics of Gaussian beam aspheric shaping system[J]. Opto-Electron Eng, 2022, 49(4): 210367. DOI: 10.12086/oee.2022.210367[3] 杨向通,范薇.利用双折射透镜组实现激光束空间整形[J].光学学报,2006,26(11):1698-1704[4] 庞辉, 应朝福, 范长江, 等. 用于光束整形的衍射光学元件设计的混合算法[J]. 光子学报, 2010, 39(6): 977-981.[5] LI Pangyue, ZHOU Shun, CHENG Jin, et al. Design of integrated lens array beam shaping system[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2023, 60(15): 281-288.来源:摩尔芯创

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