【自制工具箱】「激光热通量分析工具」辅助模拟晶圆加热

在上期内容中，我们分享了晶圆激光加热的实际应用案例硅晶片激光加热仿真+专属工具箱预告，其中提到的激光加热工具箱引发了不少朋友的关注。这款专为半导体晶圆加热场景设计的工具，能大幅简化建模与仿真流程、提升控温精度，今天就带大家全方位拆解它的核心价值，从界面操作到案例验证一网打尽。

 

1.  计算激光在晶片上任意时间点的瞬时热通量分布（单位：W/m²）

2.  将热通量计算公式转换为NFX支持的CFD函数语言复 制到软件中进行计算

 

工具箱界面

激光加热工具箱采用模块化界面设计，兼顾专业度与易用性，即使是初次操作的用户也能快速上手，整体分为三大核心区域：

01参数设置区域

整合激光、晶圆及热通量分析所需的参数配置项。

• 基本参数：输入晶圆尺寸和激光功率等基本信息

• 考虑圆盘转动效果: 勾选后激光焦点将在波形运动基础上叠加圆盘转动；

• 波形类型：支持正弦波、三角波、方波、矩形波等多种波形，描述激光在晶圆上加工路径；

• 周期: 波形周期（激光焦点在晶片上往复运动的周期）；

• 保存数据：支持将计算的热通量数据导出表格格式；

• 表达式：提供3种表达式计算过程，并将波形函数和激光能量函数以NFX格式输出，可直接复 制粘贴到midas NFX 中使用；

• 波形曲线：可预览波形，是否是预期的形状

• 鼠标放置任意位置，右下角可读取坐标信息；

• 热量云图：直观观察激光运动路径及能量分布

• 内置完整的帮助文档：详细说明了数据要求、参数含义、操作步骤和结果解读。

为了避免仿真分析的离散数据造成波形表达式与实际路径不一致，所以在验证激光能量之前单独验证波形函数：