多晶硅悬臂梁电磁结构耦合分析
悬臂梁结构示意图：
悬臂梁结构图
多晶硅悬臂梁材料参数：
杨氏模量160GPa,泊松比0.2,密度为2331Kg/m^3,悬臂梁长L=50um, 宽w=2um,厚t=2um,距下地面h=3um,介电常数为8.85e-18。
数值分析--计算结果:
悬臂梁电位分布
悬臂梁位移变形
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首次发布时间：2020-06-19
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悬臂梁结构示意图：
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多晶硅悬臂梁材料参数：
杨氏模量160GPa,泊松比0.2,密度为2331Kg/m^3,悬臂梁长L=50um, 宽w=2um,厚t=2um,距下地面h=3um,介电常数为8.85e-18。
数值分析--计算结果:
悬臂梁电位分布
悬臂梁位移变形
