光刻工艺分辨率瓶颈难突破？OAS 高NA非球面聚焦新可能

简介

参数设置

研究高 NA 的非球面透镜对 x 方向线偏振的高斯光束的聚焦情况，重点分析焦区不同方向的电场分量分布。

具体参数设置如下：

光源选用波长为 600nm 的高斯光源，该波长处于可见光波段，在众多光学应用场景中较为常见；光源束腰半径设定为 1.25mm×1.25mm，此尺寸参数会影响光束的发散特性以及聚焦后的光斑形态；偏振态确定为 x 方向线偏振，明确的偏振态设置有助于针对性地研究光矢量特性在聚焦过程中的变化。非球面透镜采用高数值孔径设计，其具体参数依据实际应用需求和光学设计规范进行精确设置，以确保实现高效聚焦效果。

(高NA非球面聚焦的三维追迹图)

(光束模式场 |Ex|²的探测器结果图)

(光束模式场 |Ey|² 的探测器结果图)

(光束模式场 |Ez|² 的探测器结果图)

总结