▲ 微纳薄膜材料受力压缩后的形变
文|电子F430
编辑|小苏
审核|赵佳乐
有限元法是一种高效的数值分析方法,核心是将复杂连续的求解域离散为有限个简单单元,通过求解单元方程组,近似得到整体问题的数值解。
有限元法兼具精度与灵活性,核心步骤包括建模、离散、加载求解及结果分析。其优势在于无需复杂解析推导,能精准模拟结构的应力、应变、位移等物理量。
微纳薄膜材料是指厚度处于微米至纳米尺度(通常为1nm~100μm)、具有特定物理化学及力学性能的薄层材料,可通过沉积、溅射、光刻等工艺制备,广泛应用于微机电系统、柔性电子、光电信息、生物医学等前沿领域。
作为微纳器件的核心功能单元,微纳薄膜的性能直接决定器件的服役可靠性与工作效率。例如,在微机电系统中,薄膜的压缩、拉伸等力学行为影响器件的形变精度;在柔性电子中,薄膜的柔韧性与稳定性决定器件的弯折寿命。目前,微纳薄膜材料的性能研究已成为材料科学与工程领域的研究热点,其制备工艺优化与力学特性表征,对推动微纳技术向高精度、高稳定性方向发展具有重要意义。

图1. 微纳薄膜材料
根据设计图纸搭建了微纳薄膜三维简化模型,如图2所示。模型计算过程需设置材料的密度、杨氏模量和泊松比,为了结果的准确性,以上参数均从相关论文资料以及现有实验数据中获得,如图3所示。

图2. 微纳薄膜三维模型

图3. 材料参数
计算模型选择固体力学模块进行计,选择顶部为压力边界,最底部为固定约束边界,其余边界设为自由边界。详细的物理场边界条件如图4所示。

图4. 物理场边界条件
根据有限元法的求解原理,剖分越精细,求解越准确,数值计算前通过网格划分对模型计算区域进行离散化处理,采用非结构网格对模型进行划分,网格分布如图5所示。

图5. 网格分布
计算模型稳态求解器求解,通过计算得到微纳薄膜材料力学特性分布如下所示。

图6. 应力分布

图7. 位移分布
图8. 应变分布
图9. 中线点位移随压力变化曲线图