
根据设计图纸搭建的薄膜器件的几何模型如下,几何模型包括高低压电极、薄膜、腔体流体和保护外壳。

图1. 薄膜几何模型
高低压电极、薄膜、腔体流体和保护外壳选择的材料依次是金属铜、DE膜、盐水和尼龙塑料,材料的密度、相对介电常数、粘度、杨氏模量以及泊松比参数均来源于参考文献,如下所示。
图2. 材料参数
物理场选择静电场、固体力学和层流场3场耦合进行计算。
(1)静电场:设置固体和流体中的电荷守恒域条件;初始值为0;高压电极施加3e3kV电压,接地电极接地;其余边界设置零电荷边界;
(2)固体力学:固体区域设置线弹性材料;初始值为0;膜底部和保护外壳设置固定约束边界;
(3)层流:腔体内部流体设置自然对流;顶部点设置压力点约束;
(4)静电场和固体力学耦合机电力;固体力学和层流耦合流固耦合;
详细的边界条件设置如下所示。

图.3 边界条件
根据有限元法的求解原理,剖分越精细,求解越准确,数值计算前通过网格划分对模型计算区域进行离散化处理,采用非结构网格对模型进行划分,网格分布如下所示。
图.4 网格分布
通过稳态求解得到电压驱动薄膜计算的物理场分布如下。
图.5 薄膜位移分布
图.6 位移分布
图.7 电势分布
