纳秒激光在单晶硅材料内部烧蚀爆点仿真

使用comsol软件，模拟聚焦光束在单晶硅材料内部的传播、聚焦、吸收、需要考虑不同波长（1064nm单光子吸收+1342nm双光子吸收）的吸收情况以及引起的载流子浓度变化，最终预测内部爆点形貌机残余应力情况，应用领域是激光隐形切割。