加热带是用来加热硼烷氨络合物粉末,加热带主要成分是橡胶,加热后得到前驱体BH3NH3,作为氮化硼反应的气态原料。刚玉管子的炉温中心(1350摄氏度加热)放置钨片和铜镍合金(倒放)。铜镍合金作为催化基底。
刚玉管子中心放倒扣过来的钨片上面液化的铜镍合金(BH3NH3是原料,加热带加热至74摄氏度,通过氢气9sccm,氩气100sccm混合气体输送至铜镍合金基底上),利用空间限域(铜镍合金基底和刚玉管子间隙很小)方法实现了氮化硼的生长如图2,想模拟出铜镍合金基底上表面和下表面气体的流速如图3c和d。


