openfoam 旋转晶圆表面液膜

水通过位于晶圆上方的喷子以一定流量或速度冲击高速旋转的晶圆表面。液体撞击精元后，在离心作用粘性作用和惯性作用共同影响下沿径向向外铺展，形成具有一定厚度和波动特征的薄夜膜，进一步考虑液膜流动产生的流体作用力对原茎表面颗粒的托付与输运从而研究晶圆旋转清洗效率。
方案一：
使用OpenFOAM里的LPT，模拟微细尺度颗粒在高速转动的晶圆表面的脱附过程，注意，要求在超净水未冲刷到颗粒前，颗粒不得被晶圆表面的高速离心力甩出表面，颗粒应该由于微观作用力的作用吸附在晶圆表面，此后被超净水冲刷作用脱附
方案二：
使用OpenFOAM与LIGGGHTS耦合，建立气-液-固三相体系的数值模型，要求跟方案一中一致。