主要目标是模拟在超声辅助激光切割SiC材料过程中裂纹的扩展。模拟的关键内容包括:•模拟超声波振动和激光改性SiC材料之间的相互作用。•研究超声波振幅和频率如何影响应力强度和裂纹扩展。•预测剥离力和表面粗糙度在切割过程中的变化。