利用器件仿真探究金属功函数Wf、接触电阻Rc、界面固定电荷Qf对肖特基二极管电学性能的影响(需模拟出I-V、C-V并提取出相应参数)。仿真要求:查阅相关文献,合理设计器件结构尺寸。给出不同参量的I-V与C-V图,提取势垒高度、开态电阻等参数并分析比较。需采用控制变量法来说明。软件:silvaco