微纳表面测量精度难保证？OAS白光干涉仪案例来解困

 

时间相干性

OAS光学软件支持自定义光源的光谱分布，通过定义光谱的波长和权重实现时间相干性的控制。

 

 

OAS光学软件支持建立相干光的点光源阵列，通过点光源阵列采样控制扩展光源的尺寸、密度和分布，实现空间相干性的仿真

 

 

通过OAS光学软件建立白光干涉仪模型，并基于白光的宽光谱和一定的扩展光源面积建立低相干度白光光源，仿真白光干涉条纹。

 

 

 

OAS 凭借其对光学系统精细建模的能力，精准还原白光干涉仪中宽光谱光源的传播特性，基于物理光学追迹算法呈现干涉测量过程中的条纹变化，为微纳表面形貌测量、薄膜厚度测量等领域的仪器研发与性能提升提供了强有力的仿真支持，充分展现了其在精密光学仪器仿真分析中的关键价值。