JCMSuite应用：光场通过六方晶胞的近场分析

这是一个简单的二维光栅的例子，具有双重周期(六方)晶格。三维单元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含两个不同的菱形(平行六面体)，位于衬底上，被背景材料包围。我们选择了一个直角线单元晶胞(最小原始单元格)来避免结构的计算域边界的不利切割。案例中的材料选择为铬(菱形)，玻璃(基底)和空气(背景材料)。光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。
(图1：模型建模；图2：S偏振光照明的场矢量；图3：P偏振光照明的场矢量)